基本信息
| 标准名称： | 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法 |
| 英文名称： | Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption |
| 中标分类： | 冶金 >> 金属理化性能试验方法 >> 金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： | 电气工程 >> 半导体材料 |
| 替代情况： | 替代GB 1558-1983;被GB/T 1558-2009代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1997-01-02 |
| 实施日期： | 1998-08-01 |
| 首发日期： | 1979-05-26 |
| 作废日期： | 2010-06-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 峨嵋半导体材料研究所 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2004-04-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：8， 字数：11千字 |
| 书号： | 155066.1-14911 |
适用范围
本标准规定了硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法。
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所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属物理性能试验方法 电气工程 半导体材料