【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-Determinationofrelativesensitivityfactorsfromion-implantedreferencematerials
【原文标准名称】:表面化学分析.次级离子质谱法.测定离子注入标样的相对灵敏系数
【标准号】:BSISO18114-2003
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2003-08-07
【实施或试行日期】:2003-08-07
【发布单位】:英国标准学会(BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:次级离子质谱法;化学分析和试验;光谱测定法;精整;硼;标准材料;含量测定;元件
【英文主题词】:Boron;Chemicalanalysisandtesting;Determinationofcontent;Elements;Finishes;Referencematerials;Secondary-ionmassspectrometry;Spectrometry
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesamethodofdeterminingrelativesensitivityfactors(RSFs)forsecondary-ionmassspectrometry(SIMS)fromion-implantedreferencematerials.Themethodisapplicabletospecimensinwhichthematrixisofuniformchemicalcomposition,andinwhichthepeakconcentrationoftheimplantedspeciesdoesnotexceedoneatomicpercent.
【中国标准分类号】:G73
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:14P.;A4
【正文语种】:英语